氮化钪检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.化学成分分析：钪含量（Sc≥99.5%）、氮含量（N≥20.5wt%）、杂质元素（O≤0.3%、C≤0.1%、Fe≤50ppm）

2.晶体结构表征：晶格常数（a=4.520.02）、相纯度（立方相占比≥98%）、晶粒尺寸（50-200nm）

3.物理性能测试：密度（4.200.05g/cm）、维氏硬度（18-22GPa）、热导率（25-30W/mK）

4.表面形貌分析：表面粗糙度（Ra≤0.5μm）、缺陷密度（≤10/cm）、镀层厚度（1-5μm0.2μm）

5.热稳定性测试：热膨胀系数（6.810⁻⁶/K@RT-1000℃）、分解温度（≥2200℃）、氧化增重率（≤0.5mg/cm@1200℃/24h）

检测范围

1.半导体用氮化钪薄膜材料：用于GaN基HEMT器件的缓冲层与界面改性层

2.高温结构陶瓷复合材料：包含Si3N4/ScN复相陶瓷、Al2O3-ScN弥散强化材料

3.磁控溅射靶材：纯度≥99.95%的烧结ScN靶材及复合靶材

4.光学镀膜材料：用于紫外波段（200-400nm）的ScN抗反射涂层

5.粉末冶金原料：粒径分布D50=1-10μm的氮化钪粉末原料

检测方法

1.X射线衍射分析（XRD）：ASTME975-20《材料残余应力测定》、GB/T8362-2021《金属材料X射线衍射定量相分析》

2.电感耦合等离子体光谱法（ICP-OES）：ISO11885:2007《水质测定》、GB/T20975.25-2020《铝及铝合金化学分析方法》

3.扫描电子显微镜分析（SEM-EDS）：ISO16700:2016《微束分析》、GB/T17359-2023《微束分析能谱法定量分析》

4.惰性气体熔融法：ASTME1019-18《金属中气体元素测定》、GB/T4336-2016《碳硫分析仪法》

5.激光闪射法热导率测试：ISO22007-4:2017《塑料导热系数测定》、GB/T3651-2008《金属高温导热系数试验方法》

检测设备

1.RigakuSmartLabX射线衍射仪：配备高温附件（RT-1600℃），用于晶体结构与残余应力分析

2.ThermoScientificiCAPPROICP-OES：波长范围166-847nm，检出限达ppb级元素分析

3.HitachiSU5000场发射扫描电镜：搭配OxfordX-MaxN80EDS探测器，实现纳米级形貌观测与元素面分布分析

4.LECOONH836氧氮氢分析仪：采用脉冲加热技术，测量精度0.1ppm

5.NetzschLFA467HyperFlash激光导热仪：温度范围-125℃至2800℃，满足宽温域热物性测试

6.ShimadzuHMV-G21ST显微硬度计：载荷范围10gf-2kgf，支持高温硬度测试模块

7.BrukerD8ADVANCEXRD系统：配置LYNXEYEXE探测器，实现快速相组成定量分析

8.PerkinElmerSTA8000同步热分析仪：同步测量TG-DSC信号，最高温度1500℃

9.ZEISSAxioImager.A2m金相显微镜：配备Clemex图像分析系统，晶粒度评级符合ASTME112标准

10.PHIVersaProbeIIIXPS系统：单色AlKα光源，空间分辨率＜7.5μm的表面化学态分析

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质